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【供应】UV机,UV照射机,UV解胶机

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    U V 机 特 点



适用于半导体晶圆减薄后和晶圆切割后UV膜解胶工序。

规格:6inch/8inch/12inch(型号HW-UV106/108/112)

■ 此外我们也能根据客户需求,提供非标产品.





该UV照射机时用来将切割制程中使用的UV膜的粘性减弱直至消除;

LED冷光源与汞灯组成的光源相比,更能实现稳定性、均匀性的照射;

UV照射机采用的LED冷光源是180度平射产品;

UV照射机采用采用扫描式平射产品,使UV膜的粘性减弱直至消除;

生产产能:60片晶圆/小时(原则上);

小巧的桌上型系统设计;

采用液晶触摸屏一键式操作;

开启门时LED冷光源是关闭状态,可以保护人体安全;

LED冷光源寿命是一般汞灯寿命的十倍;

LED冷光源至少可以连续工作5000H(频繁启动对冷光源无副作用)

 
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